Die On-Board® IS 320F XVS Kryopumpe wurde entwickelt, um die höchste Wasserstoffpumpleistung für eine verbesserte Prozessausbeute und einen höheren Durchsatz zu liefern. Sie ist die perfekte Antwort auf die Herausforderungen der heutigen Ionenimplantat-Anwendungen. Die in die Kryopumpe integrierte intelligente Systemsteuerung sorgt für eine bessere Prozessqualität, ein konsistentes Vakuum und eine längere Betriebszeit und liefert gleichzeitig Systeminformationen in Echtzeit für eine optimale Steuerung der Array-Temperaturen. Die Vakuumqualität wird durch die automatische Anpassung an sich ändernde thermische/gashaltige Bedingungen verbessert.