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Atlas

Atlas

Réduction des émissions

Atlas™ d’Edwards, offre une fiabilité exceptionnelle, une excellente manipulation des poudres et une résistance à la corrosion, offrant des performances d’abattement pour les industries des semi-conducteurs, des écrans plats, du solaire et du MOCVD.

Atlas offre des performances inégalées en matière de réduction des émissions

Atlas abatement technology : une gamme de solutions de réduction des gaz de combustion – spécifiques à votre processus :

Les systèmes Atlas™ ont une faible consommation de combustible par rapport aux dispositifs de réduction des gaz de la génération précédente. Nous utilisons la technologie éprouvée Alzeta™ de la chambre de combustion alimentée par l’intérieur pour obtenir un coût de possession considérablement réduit. Dotés d’une à six entrées avec un certain nombre d’options, notamment un système de gestion de la température (TMS), les systèmes Atlas peuvent traiter une capacité de débit allant jusqu’à 1 200 slm. Ils sont conçus pour être faciles à utiliser et permettre une maintenance plus efficace.

La technologie de combustion interne d'Edwards

Utilisée par la plupart des grands fabricants de semi-conducteurs, la chambre de combustion à combustion interne est devenue une norme mondiale en matière de réduction des gaz depuis 1994.

Notre technologie de combustion unique fonctionne avec une température de combustion uniforme. Cela garantit des émissions de fond très faibles, et le flux de gaz vers l’intérieur empêche le contact du matériau de traitement avec les parois de la chambre, ce qui minimise l’obstruction par les solides. La composition exclusive du matériau de la chambre de combustion garantit une résistance supérieure à la corrosion et contribue à conférer à l’Atlas une fiabilité et une sécurité inégalées.

Dans notre centre d’innovation environnementale ultramoderne, nous avons mis au point des solutions pour des performances exceptionnelles, éprouvées sur le terrain et vérifiées par des tiers. La réduction des DRE va généralement au-delà de la législation mondiale et locale :

Avec une base d’installation étendue, une équipe d’application mondiale inégalée et un service d’assistance, nous pouvons offrir la meilleure solution conçue pour vos besoins en matière de processus. Contactez notre équipe et nous travaillerons ensemble pour trouver la meilleure solution.

S800

Revêtement fonctionnel compact et dur PVD

Informations générales

Types de revêtement

Chambre d'essai

Applications : Le système de table proposé permet d’atteindre et de maintenir des pressions équivalentes à un mètre « O » (pression atmosphérique) jusqu’à des niveaux élevés tels que 4000 mètres et au-delà, à l’intérieur d’une chambre d’essai.

Chambre de simulation de la pression atmosphérique

Stations de pompage à vide poussé

Les étuves à vide permettent de cuire, dégazer, chauffer, sécher et recuire des composants pour les industries de l’électronique, de l’aérospatiale et de la défense. Nos systèmes sont disponibles en plusieurs configurations cylindriques ou cubiques.

STATION DE POMPAGE TURBOMOLÉCULAIRE PLASMADIAM :

Four de traitement thermique sous vide

Traitement thermique pour fixer la forme du ressort spiral. Le traitement thermique de fixation est effectué dans les conditions suivantes :

Avantages des fours à vide

Système à ultravide Bake Out

Les étuves à vide permettent de cuire, dégazer, chauffer, sécher et recuire des composants pour les industries de l’électronique, de l’aérospatiale et de la défense. Nos systèmes sont disponibles en plusieurs configurations cylindriques ou cubiques.

Exemple