Colonne de réacteur à gaz (GRC)

Colonne de réacteur à gaz (GRC)

Réduction des émissions

Spécialement conçu pour éliminer en toute sécurité les gaz dangereux provenant des échappements des pompes à vide dans les procédés de fabrication des semi-conducteurs.

Le GRC est un réacteur à lit chaud unique qui détruit chimiquement les gaz toxiques. Il traite la plus large gamme et le plus grand mélange de gaz dans un seul système sans créer de nouveaux problèmes d’évacuation des effluents. Un mélange exclusif de granulés inorganiques est contenu dans une cartouche en acier inoxydable soudée. Celle-ci est maintenue à une température élevée par l’insertion dans un radiateur électrique tubulaire. Les gaz d’échappement dangereux qui passent dans la cartouche subissent une réaction chimique complète et sont convertis en sels inorganiques stables.