La cryopompe On-Board® IS 320F XVS est conçue pour offrir les meilleures performances de pompage de l’hydrogène afin d’améliorer le rendement du processus et le débit, offrant ainsi la réponse parfaite aux défis actuels des applications d’implants ioniques. Le système de contrôle intelligent intégré à la cryopompe garantit une meilleure qualité du processus, une constance du vide et un temps de fonctionnement, tout en fournissant des informations en temps réel sur le système pour un contrôle optimal des températures de la matrice. La qualité du vide est améliorée par l’adaptation automatique aux conditions changeantes de charge thermique/gazeuse.