Proteus

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Réduction des émissions

Edwards Proteus permet de traiter efficacement les PFC et autres gaz à effet de serre sans utiliser de gaz naturel ou d’autres hydrocarbures.

Edwards Proteus

Proteus est une solution à faible consommation d’énergie, conviviale et rentable pour réduire l’empreinte carbone de la fabrication de semi-conducteurs.

Une technologie plasma unique et de faible puissance qui permet d'obtenir un taux de destruction élevé des gaz PFC tels que le CF4 et d'autres gaz à effet de serre tels que le SF6, le NF3 et le N2O. Cela fait de Proteus l'une des solutions les plus rentables pour la réduction des gaz à effet de serre provenant des processus de fabrication des semi-conducteurs.
La puissance de fonctionnement du Plasma Proteus est entièrement réglable en fonction de la charge de gaz entrant, ce qui permet aux utilisateurs de minimiser la consommation d'énergie tout en maintenant une efficacité de traitement optimale. L'interface avec l'outil de traitement et la modulation automatique de la puissance du plasma offrent d'autres possibilités de réduire les coûts d'exploitation tout en maintenant les performances environnementales les plus élevées.
La réduction des gaz PFC nécessite des températures élevées qui favorisent la formation de gaz NOx. La technologie Proteus Plasma a été développée pour minimiser les émissions de "NOx thermiques" et est maintenant considérée comme l'un des principaux systèmes de réduction des PFC à faible taux de NOx.
La destruction des molécules de PFC tend à augmenter la charge acide par la création de composés toxiques et corrosifs solubles dans l'eau. La torche à plasma et les étapes de lavage humide de Proteus ont été spécialement conçues pour minimiser la corrosion des composants. Associé à une excellente capacité de manipulation des poudres, Proteus est en mesure de réaliser des MTBS de longue durée tout en maintenant un environnement de travail sûr dans le Fab.
Proteus Dual offre une solution de secours entièrement intégrée qui permet de garantir la disponibilité de l'abattement sans nécessiter de tuyauterie ou d'interface compliquée. Proteus Dual est une solution rentable et facile à installer. Elle permet de maintenir le temps de fonctionnement du processus, de réduire l'encombrement et les coûts d'installation, tout en améliorant la sécurité de la sous-fabrication.

Composants

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Edwards Proteus

Distributeur officiel suisse de