Les systèmes de pompes cryogéniques Edwards CTI-Cryogenics IS exploitent une technologie innovante à haut rendement pour fournir des performances de vide et une efficacité énergétique inégalées.
Un système de contrôle distribué breveté surveille et ajuste en permanence les éléments individuels du système de cryopompe pour maintenir des performances de vide optimales à l’échelle du système pour une cohérence de processus exceptionnelle. Les cryopompes On-Board IS offrent la disponibilité la plus élevée, la meilleure productivité et le coût global de possession le plus bas de tous les systèmes de cryopompes disponibles aujourd’hui, soutenus par le réseau mondial de service et d’assistance très réactif d’Edwards.
La cryopompe On-Board® IS 320FX, développée spécifiquement pour relever les défis des processus d’implantation ionique d’aujourd’hui, offre une vitesse et une capacité de pompage d’hydrogène améliorées, tout en maintenant la qualité, les performances et la fiabilité que vous attendez.
La cryopompe On-Board® IS XP offre une capacité accrue pour les applications PVD afin d’atteindre une productivité maximale tout en maintenant la transparence du processus. En même temps, il tire parti de l’efficacité énergétique éprouvée, des performances constantes et du faible coût de possession que vous attendez de l’On-Board® IS.
