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Proteus

Performance de réduction inégalée

Edwards Proteus permet le traitement efficace des PFC et d’autres gaz à effet de serre sans l’utilisation de gaz naturel ou d’autres hydrocarbures.

Edwards Proteus

Proteus est une solution à faible consommation d’énergie, conviviale et rentable pour réduire l’empreinte carbone de la fabrication de semi-conducteurs.

Une technologie plasma unique à faible puissance qui atteint une efficacité de taux de destruction élevée (DRE) des gaz PFC tels que le CF4 et d'autres gaz à effet de serre tels que le SF6, le NF3 et le N2O. Cela fait de Proteus l'une des solutions les plus rentables pour la réduction des gaz à effet de serre provenant des processus de fabrication de semi-conducteurs.
La puissance de fonctionnement du Proteus Plasma est entièrement réglable en fonction de la charge de gaz entrante, permettant aux utilisateurs de minimiser la consommation d'énergie tout en maintenant une efficacité de traitement optimale. L'interfaçage avec l'outil de traitement et la modulation de puissance plasma automatique offrent d'autres possibilités de réduction des coûts d'exploitation tout en maintenant les performances environnementales les plus élevées.
La réduction des gaz PFC nécessite des températures élevées qui favorisent la formation de gaz NOx. La technologie Proteus Plasma a été développée pour minimiser les émissions de «NOx thermiques» et se positionne désormais comme l'un des principaux systèmes de réduction des PFC «à faible NOx».
La destruction des molécules de PFC tend à augmenter la charge acide par la création de composés hydrosolubles toxiques et corrosifs. La torche Proteus Plasma et les étapes de lavage par voie humide ont été spécialement conçues pour minimiser la corrosion des composants. Combiné à une excellente capacité de manipulation de poudre, Proteus est capable d'atteindre de longs MTBS tout en maintenant un environnement de travail sûr dans la Fab.
Proteus Dual offre une solution de « secours » entièrement intégrée pour aider à garantir la disponibilité de la réduction sans avoir besoin de tuyauterie et d'interfaçage compliqués. Proteus Dual est une solution économique et facile à installer. Il permet de maintenir la disponibilité des processus, de réduire l'encombrement et les coûts d'installation, tout en améliorant la sécurité de la sous-usine.

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