Notre gamme innovante de pompes sèches vous apporte une technologie de pointe conçue pour améliorer votre environnement de fabrication de semi-conducteurs et d’électronique. Chaque gamme a été spécialement conçue pour vous apporter des avantages en termes de performances environnementales, de fiabilité dans des conditions difficiles et d’agilité dans les applications légères.
Plus écologique et plus fiable avec un coût de possession réduit
100 - 6.000 m³/h Plus de capacité de processus "Branchez et pompez" Pas d'entretien courant
110 / 930 m³/h 0,013 / 0,001 mbar Prise et pompe <55 dB(A) Pas d'entretien courant
Les pompes sèches de la série Edwards iXM à faible consommation d’énergie peuvent apporter de réelles améliorations aux processus avec une disponibilité accrue, un impact environnemental réduit et des avantages en termes de coûts pour vos applications les plus critiques.
La gamme de pompes sèches iXH établit de nouvelles normes en matière de capacité de traitement difficile, de fiabilité et de coût de possession réduit.
La série iXL est une gamme de pompes sèches compactes à faible consommation d’énergie pour les applications légères telles que la manipulation de plaquettes, le PVD et la métrologie.
| Unité | iXH100 | iXH610 | iXH1210 | |
| Vitesse de pompage maximale | m³/h | 100 | 665 | 1025 |
| Pression ultime | mbar | 0.02 | 0.005 | 0.005 |
| Puissance à l’ultime | kW | 2.1 | 2.6 | 3.2 |
| Alimentation en mode vert | kW | 0.045 | 0.045 | 0.045 |
| Bruit à l’ultime | dB(A) | 63 | 64 | 64 |
| Unité | iXL120N | iXL1000N | |
| Vitesse de pompage maximale | m³/h | 110 | 930 |
| Pression ultime | mbar | 0.013 | 0.001 |
| Puissance à l’ultime | kW | 0.55 | 1 |
| Alimentation en mode vert | kW | 0.045 | 0.05 |
| Bruit à l’ultime | dB(A) | < 55 | < 55 |
