Les stations de pompage turbomoléculaires TIC sont disponibles dans une gamme de vitesses de pompage allant de 85 l/s à 400 l/s, un contrôleur TIC et un choix de pompe primaire étanche à l’huile ou sèche.
Toutes les stations de pompage turbomoléculaires Edwards sont équipées d’un turbo TIC et d’un contrôleur d’instrument, permettant :
Toutes nos stations de pompage turbomoléculaires TIC sont équipées de pompes turbomoléculaires nEXT offrant une fiabilité éprouvée et une facilité d’entretien pour l’utilisateur final. Les pompes étanches à l’huile sont livrées avec un filtre à brouillard EMF monté en standard et les pompes à spirales sèches nXDS ont une vanne d’isolement montée entre la pompe turbo et la pompe primaire en standard.
| Unité | nEXT85 | nEXT85 | nEXT240 | nEXT300 | nEXT400 | |
| Bride d’entrée | NO40 | ISO/CF63 | ISO/CF100 | ISO/CF100 | ISO/CF160 | |
| Vitesse de pompage pour N 2 | l/s | 47 | 84 | 240 | 300 | 400 |
| Rapport de compression pour N 2 | >1×10 11 | >1×10 11 | >1×10 11 | >1×10 11 | >1×10 11 | |
| Vitesse de la pompe primaire 50 Hz (humide) | m³/h | 5 – 12 | 5 – 12 | 5 – 12 | 5 – 12 | 5 – 12 |
| Vitesse de la pompe primaire 50 Hz (sec) | m³/h | 1.2 – 22 | 1.2 – 22 | 6 – 22 | 6 – 22 | 6 – 22 |
| Vide ultime | mbar | <5×10 -10 | <5×10 -10 | <5×10 -10 | <5×10 -10 | <5×10 -10 |
| Niveau de bruit à l’ultime | dB(A) | <56 | <56 | <56 | <56 | <56 |
| Manette | TIC | TIC | TIC | TIC | TIC | |
| Options de pompe primaire | nXDS / RV / XDD | nXDS / RV / XDD | nXDS / RV | nXDS / RV | nXDS / RV |
