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Colonne de réacteur à gaz (GRC)

Performance de réduction inégalée

Spécialement conçu pour éliminer en toute sécurité les gaz dangereux des échappements des pompes à vide sur les processus de semi-conducteurs.

Le GRC est un réacteur à lit chaud unique qui détruit chimiquement les gaz toxiques. Il traite la gamme et le mélange de gaz les plus larges dans un seul système sans créer de nouveaux problèmes d’élimination des effluents. Un mélange exclusif de granulés inorganiques est contenu dans une cartouche en acier inoxydable soudée. Celui-ci est maintenu à une température élevée par insertion dans un réchauffeur électrique tubulaire. Les gaz d’échappement dangereux passant dans la cartouche sont chimiquement réagis jusqu’à la fin et convertis en sels inorganiques stables d’insert.