Les cryopompes embarquées, avec des commandes entièrement intégrées et des périphériques de support, offrent une disponibilité supérieure et des performances constantes pour augmenter la productivité et la disponibilité globales des outils.
Les pompes à vide embarquées CTI-Cryogenics d’Edwards accélèrent l’intégration et améliorent le fonctionnement du système – reconnues comme la norme mondiale en matière de fiabilité et de performances.
| Modèle de cryopompe embarquée | 4F | 8 | 8F | 10 | 10F | 250F | 400 | 500 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Vitesses de pompage – litres/sec. | ||||||||
| Vapeur d’eau | 1,100 | 4,000 | 4,000 | 9,000 | 9,500 | 6,500 | 17,500 | 30,000 |
| Air | 370 | 1,500 | 1,500 | 3,000 | 3,600 | 2,200 | 6,000 | 10,000 |
| Hydrogène | 370 | 2,500 | 2,200 | 5,000 | 6,000 | 3,200 | 12,000 | 12,000 |
| Argon | 310 | 1,200 | 1,200 | 2,500 | 3,000 | 1,800 | 5,000 | 8,400 |
| Capacité – std. litre | ||||||||
| Argon | 210 | 1,000 | 1,000 | 2,000 | 2,000 | 1,000 | 2,500 | 6,000 |
| Hydrogène (5×10 -6 Torr) | 3 | 17 | 12 | 24 | 24 | 16 | 42 | 45 |
| Temps de régénération nominal (froid à froid) | ||||||||
| Première et deuxième étape | 75 minutes | 2h30 | 2h30 | 2h30 | 2h30 | <3,3 heures | 3 heures | <3,8 heures |
| Deuxième étape | <1h | <1h | <1h | <1h | <1h | <1h30 | <1h30 | – |
