La cryopompe On-Board® IS 320F XVS est conçue pour fournir les performances de pompage d’hydrogène les plus élevées pour un rendement et un débit de processus améliorés, offrant la réponse parfaite aux défis actuels des applications Ion Implant. Le contrôle intelligent du système intégré dans la cryopompe assure une meilleure qualité de processus, une constance du vide et une disponibilité, tout en fournissant des informations système en temps réel pour un contrôle optimal des températures de la matrice. La qualité du vide est améliorée par une adaptation automatique aux conditions changeantes de charge thermique/gaz.