Toutes les stations de pompage turbomoléculaires Edwards sont équipées d’un turbocompresseur TIC et d’un contrôleur d’instruments, ce qui permet.. :
Toutes nos stations de pompage turbomoléculaires TIC sont équipées de pompes turbomoléculaires nEXT, qui ont fait leurs preuves en termes de fiabilité et de facilité d’entretien pour l’utilisateur final. Les pompes étanches à l’huile sont équipées en standard d’un filtre à brouillard EMF et les pompes à spirale sèche nXDS sont équipées en standard d’une vanne d’isolation entre la pompe turbo et la pompe d’appui.
| Unité | nEXT85 | nEXT85 | nEXT240 | nEXT300 | nEXT400 | |
| Bride d’entrée | NW40 | ISO/CF63 | ISO/CF100 | ISO/CF100 | ISO/CF160 | |
| Vitesse de pompage pour N2 | l/s | 47 | 84 | 240 | 300 | 400 |
| Ratio de compression pour N2 | >1×1011 | >1×1011 | >1×1011 | >1×1011 | >1×1011 | |
| Vitesse de la pompe d’appui 50 Hz (humide) | m³/h | 5 – 12 | 5 – 12 | 5 – 12 | 5 – 12 | 5 – 12 |
| Vitesse de la pompe d’appui 50 Hz (sèche) | m³/h | 1.2 – 22 | 1.2 – 22 | 6 – 22 | 6 – 22 | 6 – 22 |
| L’aspirateur ultime | mbar | <5×10-10 | <5×10-10 | <5×10-10 | <5×10-10 | <5×10-10 |
| Niveau de bruit en fin de course | dB(A) | <56 | <56 | <56 | <56 | <56 |
| Contrôleur | TIC | TIC | TIC | TIC | TIC | |
| Options de la pompe d’appui | nXDS / RV / XDD | nXDS / RV / XDD | nXDS / RV | nXDS / RV | nXDS / RV |
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