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Cryopompes embarquées

Cryopompes embarquées

Amélioration du vide

Les cryopompes embarquées, avec leurs commandes entièrement intégrées et les périphériques correspondants, offrent un temps de fonctionnement supérieur et des performances constantes, ce qui permet d’augmenter la productivité et le temps de fonctionnement de l’outil dans son ensemble.
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Accélérer l'intégration et améliorer le fonctionnement du système

Les pompes à vide embarquées Edwards CTI-Cryogenics accélèrent l’intégration et améliorent le fonctionnement du système – elles sont reconnues comme la norme mondiale en matière de fiabilité et de performance.

Caractéristiques principales

  • Capacité Fast Regen™ qui prolonge la performance de la cryopompe entre les régénérations.
  • Capacité de régénération simultanée, rendue possible par la mise en réseau de vos cryopompes, qui accélère la régénération globale du système.
  • Un microprocesseur de contrôle intégré pour améliorer les performances, effectuer des routines de diagnostic et fournir une capacité de communication.
  • Un logiciel sophistiqué et des interfaces utilisateur graphiques faciles à utiliser pour améliorer considérablement les performances et le fonctionnement.
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Modèle de cryopompe embarquée

Modèle de cryopompe embarquée 4F 8 8F 10 10F 250F 400 500
Vitesses de pompage – litres/sec.
Vapeur d’eau 1,100 4,000 4,000 9,000 9,500 6,500 17,500 30,000
Air 370 1,500 1,500 3,000 3,600 2,200 6,000 10,000
Hydrogène 370 2,500 2,200 5,000 6,000 3,200 12,000 12,000
Argon 310 1,200 1,200 2,500 3,000 1,800 5,000 8,400
Capacité – std. litre
Argon 210 1,000 1,000 2,000 2,000 1,000 2,500 6,000
Hydrogène (5×10-6 Torr) 3 17 12 24 24 16 42 45
Temps de régénération nominal (de froid à froid)
Première et deuxième étapes 75 min 2,5 heures 2,5 heures 2,5 heures 2,5 heures <3,3 heures 3 heures <3,8 heures
Deuxième étape <1 heure <1 heure <1 heure <1 heure <1 heure <1,5 heures <1,5 heures –